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Agilent VacIon Plus 40 離子泵是一款中型 40 L/s 離子泵，用于真空電子設備、掃描電子顯微鏡 (SEM) 和學術(shù)和高能物理 (HEP) 研究的通用 UHV 和 XHV 系統(tǒng)。
Agilent VacIon Plus 40 離子泵提供穩(wěn)定真空和低漏電流，可保護 SEM 應用中的關(guān)鍵部件。我們的陽極設計和三極離子泵單元相結(jié)合，為優(yōu)化電子束色譜柱提供了強大的解決方案。提供高壓 (HV) 真空通導件等用戶可選擇的選項，可用于輕松實現(xiàn)系統(tǒng)集成。
特性
可選擇三極離子泵、二極離子泵和惰性氣體二極離子泵抽氣單元，以為不同氣體提供最佳抽速
配備 ConFlat 2.75 英寸旋轉(zhuǎn)型或非旋轉(zhuǎn)型法蘭、額外 2.75 英寸 ConFlat 孔，可選不同方向的真空穿導件（Fischer、King、DESY、Varian、SHV 10kV (Safeconn)）
無活動部件，確保在高靈敏度應用中無振動運行
低漏電流可提供穩(wěn)定的真空壓力讀數(shù)
低磁場可很大程度減少系統(tǒng)干擾
在 > 400 °C 的條件下進行真空處理，并在真空下夾止，確保安裝前的清潔度和真空密封性
可定制不同的高壓真空穿導件、泵體幾何形狀、額外孔和抽氣單元布局，還可配備光學擋板、外部加熱器和屏蔽磁體，滿足您的需求
SEM 版本具有低漏電流和高穩(wěn)定性，可將電子干擾降至很低
可以根據(jù)您的具體需求添加特殊測試程序
性能指標
| 加熱器電壓 |
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| 加熱器電源 |
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| 單元類型 |
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| 工作壽命 |
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| 抽氣口法蘭 |
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| 最大啟動壓力 |
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| 最高烘烤溫度 |
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| 極限真空 |
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| 真空高壓接頭類型 |
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| 重量（只有泵時） |
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工作原理
二極離子泵元件技術(shù)
二極離子泵由一個帶正電的陽極環(huán)元件和一個帶負電的鈦 (Ti) 陰極組成，它們浸沒在磁場中，使電子在生成的等離子體中撞擊周圍的氣體分子，從而產(chǎn)生正離子。較輕離子 (H2/He) 向陰極加速，穿透 Ti 層，而較重離子撞擊陰極，使 Ti 濺射，并覆蓋陽極環(huán)內(nèi)表面。H2、N2 和 O2 等可吸收氣體將與捕獲的 Ti 發(fā)生反應。濺射和吸收效應與二極離子泵的抽氣效應同步。
三極離子泵元件技術(shù)
由于泵產(chǎn)生的離子流與真空度成正比，在許多應用（如掃描電子顯微鏡 (SEM)）中，離子泵可用作真空計。由于泄漏電流會與離子流疊加，因此需要將其盡可能降低。為了降低泄漏電流，安捷倫申請了一項陽極設計專利，該設計減少了空體積、尖銳邊緣和金屬“晶須"。這些預防措施有助于保持極低的泄漏電流，確保更好的壓力讀數(shù)。
SEM 陽極設計
由于泵產(chǎn)生的離子流與真空度成正比，在許多應用（如掃描電子顯微鏡 (SEM)）中，離子泵可用作真空計。由于泄漏電流會與離子流疊加，因此需要將其盡可能降低。為了降低泄漏電流，安捷倫申請了一項陽極設計專利，該設計減少了空體積、尖銳邊緣和金屬“晶須"。這些預防措施有助于保持極低的泄漏電流，確保更好的壓力讀數(shù)。
